真空腔体是保持里面为真空状态的容器，它的制作要考虑容积、材质和形状。不锈钢是目前真空系统的主要结构材料。其中300系列不锈钢是含Cr10%—20%的低碳钢，具有优良的抗腐蚀性、放气率低、无磁性、焊接性好、导电率和导热率低、能够在-270—900℃工作等优点，在高真空系统中应用广。
焊接是真空腔体制作中重要的环节之一。为避免大气中熔化的金属和氧气发生化学反应从而影响焊接质量，通常采用氩弧焊来完成焊接。氩弧焊是指在焊接过程中向周围喷洒保护气体氩气，以免熔化后的高温金属发生氧化反应。
它的氩弧焊接，原则上采用内焊，即焊接面是在真空一侧，以免存在死角而发生虚漏。
真空腔体的内壁表面吸附大量的气体分子，成为影响真空度的放气源。为实现真空，要对腔体进行150—250℃的高温烘烤，以促使材料表面和内部的气体尽快放出。烘烤方式有在腔体外壁缠绕加热带，它在腔体外壁固定铠装加热丝或直接将腔体置于烘烤帐篷中。比较经济简单的烘烤方法是使用加热带，加热带的外面再用铝箔包裹，以免热量散失的同时也可使腔体均匀受热。
